靜電放電損壞模型
有多種模型可以用來表述器件如何受到損害,如人體模型(HBM)、機(jī)器模型(MM)、帶電器件模型(CDM)以及電場對器件的影響等。對于自動裝配設(shè)備而言,主要考慮后三種損壞模型(模式):
1、電場影響: 電場感應(yīng)會在IC阻性線路間產(chǎn)生電位差,引起絕緣體介質(zhì)擊穿。造成失效的另一個原因是器件上的電荷在電場中會被極化,從而產(chǎn)生電位差并向異性電荷放電,形成雙重放電或中和。在ESD控制中使用了具有不同電阻特性的材料,這些材料用在自動裝配設(shè)備中可以獲得理想的效果。描述材料電阻特性通常用表面電阻率或體電阻率。
2、機(jī)器模型/模式:自動裝配設(shè)備使用導(dǎo)軌、傳動帶、滑道、元件運(yùn)送器和其他裝置來移動器件使之按工藝要求的方向運(yùn)動,如果設(shè)備設(shè)計(jì)不當(dāng),傳動帶和運(yùn)送系統(tǒng)上可能會積累大量電荷,這些電荷將在工藝過程中通過器件泄放。設(shè)備部件通過器件放電就稱為機(jī)器模型/模式。
3、帶電器件模型/模式: 如果一個器件因某種原因累積了電荷并與一個帶電少的表面相接觸,電荷就會通過器件上的導(dǎo)電部分泄放。當(dāng)器件向其他材料放電時(shí),就稱為帶電器件模式,用帶電器件模型表示。